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布魯克 Dektak系列臺階儀/探針式輪廓儀

      BRUKER布魯克 Dektak系列臺階儀/探針式輪廓儀 ，適用于納米級表面測量、表面形貌分析等多種領(lǐng)域，具有超過50年的研發(fā)歷程，技術(shù)成熟，性能可靠。

      設(shè)備可實(shí)現(xiàn) 4? （0.4nm） 的優(yōu)異重復(fù)性和快速的掃描速度，為微電子技術(shù)、半導(dǎo)體、觸摸屏、太陽能、高亮度 LED、醫(yī)療和材料科學(xué)、薄膜與涂層、生命科學(xué)應(yīng)用等行業(yè)實(shí)現(xiàn)納米級表面形貌測量技術(shù)提供支持。

布魯克全新一代的臺階儀設(shè)備 - Dektak Pro

     Dektak Pro™ 以其多功能，使用的便捷性和準(zhǔn)確的精度在薄膜厚度、臺階高度、應(yīng)力、表面粗糙度和晶圓翹曲測量方面廣受贊許。第十一代Dektak®系統(tǒng)，具有4 ?重復(fù)性的優(yōu)異表現(xiàn)，并提供200毫米平臺選項，在科研以及工業(yè)領(lǐng)域中可以為材料的表面形貌提供各種分析。在表面測量方面，Dektak Pro是微電子技術(shù)、薄膜與涂層和生命科學(xué)應(yīng)用的理想選擇。

強(qiáng)大的性能和重復(fù)性

      Dektak Pro以其強(qiáng)大的分辨率、穩(wěn)定性、穩(wěn)健性和耐用性，確保在未來數(shù)年甚至數(shù)十年內(nèi)提供可靠的優(yōu)質(zhì)結(jié)果。新型號在Dektak平臺上繼承創(chuàng)新，提供更高的分辨率、更低的噪聲和更便捷的探針更換，所有這些因素對于優(yōu)化系統(tǒng)的重復(fù)性和準(zhǔn)確性至關(guān)重要。

      在適當(dāng)?shù)沫h(huán)境下，Dektak Pro甚至能夠測量1納米的臺階高度，并在1微米臺階高度標(biāo)準(zhǔn)上實(shí)現(xiàn)優(yōu)于4 ?的重復(fù)性。

性能體現(xiàn)在細(xì)節(jié)之中

      Dektak Pro的單拱設(shè)計有效降低了對不利環(huán)境條件（如噪聲和震動）的敏感性，同時又可容納大尺寸樣品測試。新一代的智能電子技術(shù)應(yīng)用更大限度地減少了溫度變化和電子噪聲，從而減少了高精度測量中的誤差和不確定性。

      低慣量傳感器（LIS 3）使系統(tǒng)能夠快速適應(yīng)表面形態(tài)的突然變化，在動態(tài)測量場景中保持準(zhǔn)確性和響應(yīng)性。探頭更換技術(shù)通過自對準(zhǔn)探頭夾具，消除了錯位和系統(tǒng)重新校準(zhǔn)的需要，輕松完成探頭更換，耗時不到一分鐘。

快速獲取結(jié)果

      Dektak Pro采用直驅(qū)掃描平臺技術(shù)，這一先進(jìn)的掃描平臺技術(shù)大大減少了測量的時間而不影響分辨率和噪聲底，從而加快了3D形貌或長輪廓掃描的結(jié)果獲取速度，同時保持優(yōu)異的數(shù)據(jù)質(zhì)量和重復(fù)性。

      Vision64®軟件采用64位并行處理技術(shù)，即使面對大數(shù)據(jù)也能實(shí)現(xiàn)快速的數(shù)據(jù)處理。此外，自動化的多次掃描分析操作簡化了重復(fù)性任務(wù)，增強(qiáng)了速度和便捷性。

經(jīng)典可靠的臺階儀 - Dektak XT

     布魯克 DektakXT 探針式輪廓儀（臺階儀）采用了革命性的臺式設(shè)計，結(jié)合成熟的技術(shù)和設(shè)計，實(shí)現(xiàn)了高性能、高易用性以及高性價比的統(tǒng)一，從研發(fā)到質(zhì)量控制方面都有更好的過程控制。

設(shè)備特點(diǎn)：

-    強(qiáng)大性能，臺階高度重現(xiàn)性低于4?

-    Single-arch（單拱門式）設(shè)計，提供突破性的掃描穩(wěn)定性

-    升級的“智能電子器件"，提高測試精度和穩(wěn)定性

-    優(yōu)化的硬件配置，使數(shù)據(jù)采集時間縮短40%

-    64-bit、Vision64同步數(shù)據(jù)處理軟件，使數(shù)據(jù)分析速度提高了十倍

-    直觀的Vision64用戶操作界面，使用更簡單

-    針尖自動校準(zhǔn)系統(tǒng)，讓用戶輕松更換針尖探針

-    廣泛的探針型號

-    單傳感器設(shè)計

-    確保高通量測試

探針式輪廓儀系統(tǒng)/臺階儀系統(tǒng) - Dektak XTL

      Dektak XTL 探針式輪廓儀系統(tǒng)（臺階儀系統(tǒng)）是為大型晶圓和面板制造等應(yīng)用而設(shè)計的探針式輪廓儀系統(tǒng)，可容納高達(dá) 350mm x 350mm 的樣品，擁有高精度的掃描性能和優(yōu)異的可重復(fù)性和再現(xiàn)性。

      設(shè)備采用空氣振動隔離和全封閉工作站設(shè)計，具有易用的聯(lián)鎖門，可用于苛刻的生產(chǎn)環(huán)境中。雙攝像頭架構(gòu)，可增強(qiáng)空間感知能力。高自動化水平可更大限度地提高測試通量。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

-      Dektak系列臺階儀所具有的強(qiáng)大性能

-      單拱形架構(gòu)、集成振動隔離系統(tǒng)和大型聯(lián)鎖門

-      更大且支持高精度編碼 XY 樣品工作臺

-      雙攝像頭控制系統(tǒng)

-      方便的分析和數(shù)據(jù)采集

-      N-Lite 低作用力，采用軟觸控技術(shù)

-      可靠的自動化設(shè)置和操作

-      增強(qiáng)的分析軟件

-      針尖自動校準(zhǔn)系統(tǒng)，讓用戶輕松更換針尖探針

-      廣泛的探針型號